
Ученые из Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого разработали комплекс для выпуска микроэлектронных наноструктур. Они нужны для того, чтобы работала различное микроэлектронное оборудование. Об этом 3 октября сообщает РИА Новости.
- Комплекс состоит из двух частей. Первая – промышленный образец установки безмасочной нанолитографии. Второй элемент комплекса – промышленный образец установки плазмохимического травления кремния, - пишет издание.
Отечественная установка может обойтись будущим покупателям всего в пять миллионов рублей. В это время иностранные устройства такого типа стоят все 10-13 миллиардов.
Оборудование полностью автоматизировано. Для работы прибора ученые разработали специальное программное обеспечение. Есть система обратной связи: таким образом, снижается человеческий фактор при эксплуатации.